探针台工作原理

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《探针台工作原理》 探针台是半导体测试的关键设备，通过在真空或可控环境中使用精密探针与芯片焊盘接触，实现电性能参数测量。其工作原理为：晶圆或芯片被固定在载物台，经光学系统定位后，探针精密对准测试点形成电路连接，配合测试仪器完成信号激励与数据采集，用于验证集成电路设计与制造质量。该设备广泛应用于芯片研发、故障分析和生产测试环节。